G09400 - SEMI G94 - Specification for Coin-Stack Type Tape Frame Shipping Container for 300 mm Wafer Revision:SEMI G94-0113 - Superseded この試験方法は，FPDをアプリケーションとするカラーフィルタのユーザ・サプライヤにより使用される。その使用目的は，製品と開発試作品の品質評価である。

この試験方法は，FPDをアプリケーションとするカラーフィルタのユーザ・サプライヤにより使用される。その使用目的は，製品と開発試作品の品質評価である。

SEMI E19 — Specification for Standard Mechanical Interface (SMIF)

orgで入手可能となる。初版は1990年発行。前版は2002年11月発行。

transport and storage system controller architecture

G09400 - SEMI G94 - Specification for Coin-Stack Type Tape Frame Shipping Container for 300 mm Wafer Revision:SEMI G94-0113 - Superseded この試験方法は，FPDをアプリケーションとするカラーフィルタのユーザ・サプライヤにより使用される。その使用目的は，製品と開発試作品の品質評価である。This Specification defines the dimensions of container and requirements for securing the interface between container and processing equipment or wafer transportation equipment. This Standard specifies the requirements for wafer spacers used for separation of wafers and for a cushion material used for wafer protection. This Standard specifies the electrical characteristics and requirements for hazardous substance for the material of container. The